[发明专利]由石英管引导的表面波等离子体光源

摘要

本发明属于低温等离子体技术领域,具体为一种基于石英管引导的表面波等离子体光源。本发明采用石英管引导微波，通过表面波原理激发和电离石英管内工作气体产生等离子体,由等离子体的辐射光谱作为光源。该光源包括和由微型固态微波发生器、矩形波导和耦合器组成微波系统，以及由石英管、导电透明薄膜和工作气体组成的发光系统。本发明设备简单,结构紧凑，成本适中,效率较高，并可针对应用要求选择不同的工作气体产生相应光谱辐射，用于各种目的。该系统只要选择适当气体成分，也可作为照明光源，并实现一种无汞化的绿色照明的。光源系统各部分可以做成模块化，替换方便，且具有很高的稳定性。

主权项

一种由石英管引导的表面波等离子体光源，其特征在于由微波系统和发光系统两部分组成；所述发光系统由石英管，导电透明薄膜或者金属屏蔽网，和工作气体组成；工作气体密封于石英管中，导电透明薄膜或者金属屏蔽网包围于细石英管外；所述微波系统由微型固态微波发生器、矩形波导和耦合器组成；矩形波导与石英管匹配，使表面波在石英管内表面传播并激发等离子体；石英管前端与耦合器相连，包围的导电透明薄膜或者金属屏蔽网也与耦合器相连；微波通过矩形波导输出，经过耦合器，进入石英管的一端，表面波沿着石英管的内表面传播，并在石英管的内表面产生等离子体并发光。