[发明专利]压合装置及其压合方法

摘要

一种压合装置，适于将一预压薄膜压合于一基材表面，压合装置包含一承载座及一压合盘，承载座包括一供基材放置的固定座体，及一设置于固定座体内的顶推件，顶推件可在一凸伸出固定座体以承载基材的承载位置，及一使基材贴覆于固定座体的收合位置之间往复运动；压合盘包含一设置于底端的弹性压膜，及一可对弹性压膜吸气或吹气的第一气体流道，压合盘可在一间隔位于承载座上方的初始位置，及一压合于承载座且弹性压膜压迫预压薄膜使其贴覆于基材表面的压合位置之间往复运动，借此，能将预压薄膜填覆于基材的表面。

主权项

一种压合装置，适于将一预压薄膜压合于一基材表面，其特征在于：该压合装置包含一承载座及一压合盘，该承载座包括一供该基材放置的固定座体，及一设置于该固定座体内的顶推件，该顶推件可在一凸伸出该固定座体以承载该基材的承载位置，及一使该基材贴覆于该固定座体的收合位置之间往复运动，该压合盘包含一设置于其底端的弹性压膜，及一可对该弹性压膜吸气或吹气的第一气体流道，该压合盘可在一间隔位于该承载座上方的初始位置，及一压合于该承载座且该弹性压膜压迫该预压薄膜使其贴覆于该基材表面的压合位置之间往复运动。