[发明专利]一种消除光学纤维面板暗网格被输出的像增强器结构

摘要

本发明公开了一种消除光学纤维面板暗网格被输出的像增强器结构，主要用于以光学纤维面板作为输入窗的微光像增强器，消除光学纤维面板存在的暗网格缺陷被输出的技术问题。其主要技术方案是：在输入窗光纤面板的内表面和光电阴极之间镀制一层二氧化硅膜层，光纤面板的内表面、二氧化硅膜层及光电阴极连为一体，其中二氧化硅膜层厚度为本发明通过试用证明：从根本上消除光纤面板暗网格缺陷被输出的现象，有效地提高了微光像增强器成像质量，满足使用要求。

主权项

1.一种消除光学纤维面板暗网格被输出的像增强器结构，含输入窗光纤面板(1)、光电阴极(2)、微通道板(3)、荧光屏(4)、阳极输出窗(5)，其特征在于：在输入窗光纤面板(1)的内表面和光电阴极(2)之间镀制一层二氧化硅膜层(6)，厚度为，输入窗光纤面板(1)的内表面、二氧化硅膜层(6)及光电阴极(2)连为一体，其中镀制二氧化硅膜层(6)的工艺流程：A、镀膜前的准备，将光纤面板进行清洗，并用酒精脱水烘干，而后放入镀膜机的蒸镀夹具上固定，并使蒸镀膜层的一面正好对向蒸发源；B、抽真空，关闭钟罩，抽真空至压强低于4×10^-6mbar；C、辉光放电，进行辉光放电的电流为200mA，辉光放电期间的压强保持在2×10^-2至4×10^-2mbar之间，时间为10分钟；D、继续抽真空，辉光放电结束后，再抽真空，使镀膜机的真空度再次低于4×10^-6mbar；E、材料除气，打开电子枪高压，当电子枪的灯丝被点亮时，调节电子枪发射电流，对SiO₂蒸镀材料进行除气，时间为10秒；F、镀制膜层，当除气结束后，进一步调节电子枪的发射电流，使SiO₂的蒸发速率为0.5nm/s，当晶体测厚仪的读数达到时，关闭电子枪高压，停止工件旋转，冷却10分钟后，关闭镀膜机，取出工件。