[发明专利]双轴织构镍-钨金属基带的多通道快速原位退火方法

摘要

本发明公开一种双轴织构镍-钨金属基带的多通道快速原位退火方法，退火时采用的气氛为氩气和氢气的混和气体，采用多通道传动装置，使基带通过辊轴缠绕多次通过加热器，从而大大加快了基带的退火速度，可达每小时百米以上，适合于公里级长带的制备。采用的气氛为氩气和氢气的混和气体，氩气为惰性气体，主要起缓冲作用。氢气通过与金属基带表面的氧原子结合形成水蒸气，从而将去除RABiTS基带表面的NiO层。本发明彻底清除了金属基带上吸附的氧和已经形成的表面氧化层，具有很高的稳定性和重复性。

主权项

一种双轴织构镍‑钨金属基带的多通道快速原位退火方法，其特征在于，该方法包含以下步骤：步骤1、将双轴织构镍‑钨金属基带的一端缠绕在第一卷盘上；步骤2、牵引双轴织构镍‑钨金属基带缠绕通过多通道传动装置；步骤3，将双轴织构镍‑钨金属基带的另一端固定在第二卷盘上；步骤4、关闭镀膜系统的真空门，并抽真空；步骤5、启动加热器，并升温至退火温度； 步骤6、将氩‑氢混合气体通入镀膜系统，并将控制总气压；步骤7、待氩‑氢混合气体的总气压和退火温度稳定后，开始退火过程，去除镍‑钨基带表面的本征氧化层；步骤8、退火工艺结束后，将氩‑氢混合气体的总气压降低到后续氧化物复合隔离层镀膜工艺所需的值。