[发明专利]一种硅料提纯生产用晶体破碎装置及其破碎方法

摘要

本发明公开了一种硅料提纯生产用晶体破碎装置及其破碎方法，其破碎装置包括水爆池、将处于高温状态的硅棒移至水爆池周侧并倒进水爆池内的水爆车和接至水爆池内的冲洗管道，水爆池由不锈钢材料制成且其底部设置有漏水口；硅棒为采用单晶炉拉制的圆柱形硅棒；水爆车包括接晶体筒、行走机构和提拉机构，接晶体筒为上部开口且由不锈钢材料制成的圆柱筒；其破碎方法包括步骤：一、移车至取晶位置；二、移晶至副炉室；三、持续充氩气直至副室门被内部气压冲开；四、取晶；五、移车至水爆池周侧及倒硅棒至水爆池内；六、水爆破碎。本发明设计合理、使用操作简便、投入成本低且使用效果好，具有节能环保、提高硅材料提纯生产效率、降低生产成本等特点。

主权项

一种硅料提纯生产用晶体破碎装置，其特征在于：包括水爆池(1)、将处于高温状态的硅棒(2)移至水爆池(1)周侧并倒进水爆池(1)内的水爆车(3)和接至水爆池(1)内的冲洗管道(4)，所述冲洗管道(4)与供水装置相接且其上安装有冲洗控制阀(5)；所述水爆池(1)为由不锈钢材料制成且上部开口的水池，且所述水池底部设置有漏水口(5)，所述漏水口(5)与位于所述水池下方的排水管道(7)相接，所述排水管道(7)上安装有排水阀门(6)；所述硅棒(2)为采用单晶炉且按常规直拉法拉制成型的圆柱形硅棒；所述水爆车(3)包括用于盛装硅棒(2)的接晶体筒(3‑1)、水平安装在接晶体筒(3‑1)底部的行走机构和对晶体筒(3‑1)进行提拉的提拉机构，所述接晶体筒(3‑1)为上部开口且内部仅能容纳一根硅棒(2)的圆柱筒，所述圆柱筒由不锈钢材料加工而成且其内径不小于所盛装硅棒(2)的外径，所述圆柱筒呈竖直向布设且其内腔高度不低于硅棒(2)的长度。