[发明专利]测量硅基液晶成像芯片光电特性曲线的装置

摘要

本发明涉及一种测量硅基液晶成像芯片光电特性曲线的装置，包括光源、光处理系统、起偏器、光阀、分光棱镜PBS、玻片、定位夹具、微调平台、光探测器、数据采集卡、驱动板、电脑。所述硅基液晶成像芯片垂直于所述光路固定在定位夹具上，硅基液晶成像芯片的反射面朝向玻片，硅基液晶成像芯片连接所述驱动板，驱动板连接电脑，光探测器的光探测端对准所述分光棱镜PBS反射出的S偏振光，光探测器通过电信号线连接所述数据采集卡，数据采集卡连接电脑。本发明装置结构简单，成本低廉，操作方便，测量精确度高，为保证硅基液晶成像芯片生产工艺的稳定性以及产品总量率，提供了高精度的测量手段，值得推广应用。

主权项

一种测量硅基液晶成像芯片光电特性曲线的装置，其特征在于，包括光源、光处理系统、起偏器、光阀、分光棱镜PBS、玻片、定位夹具、微调平台、光探测器、数据采集卡、驱动板、电脑；所述光处理系统、起偏器、光阀、分光棱镜PBS、玻片按先后顺序设置在所述光源的光路上，所述玻片之后安装所述定位夹具，所述定位夹具安装在所述微调平台上，所述硅基液晶成像芯片垂直于所述光路固定在所述定位夹具上，所述硅基液晶成像芯片的反射面朝向所述玻片，所述硅基液晶成像芯片连接所述驱动板，所述驱动板连接所述电脑，所述光探测器的光探测端对准所述分光棱镜PBS反射出的S偏振光，所述光探测器通过电信号线连接所述数据采集卡，所述数据采集卡连接所述电脑。