[发明专利]原位温度测试装置及方法无效
| 申请号： | 201110198339.3 | 申请日： | 2011-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN102879125A | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 梁秉文 | 申请（专利权）人： | 光达光电设备科技（嘉兴）有限公司 |
| 主分类号： | G01K11/00 | 分类号： | G01K11/00;C30B25/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 314300 浙江省嘉兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了原位温度测试装置及其测试方法，所述原位温度测试装置用于气相沉积工艺过程中对衬底或衬底上的沉积材料层透过或反射的光信号进行吸收光谱测试分析或反射光谱测试分析，从而获得与所述衬底或衬底上的沉积材料层对应的吸收光谱曲线/或反射光谱曲线；通过对所述吸收光谱曲线/或反射光谱曲线分析，可以获得与所述衬底或衬底上的沉积材料层对应的禁带宽度，基于材料的禁带宽度与温度之间的关系曲线，确定与衬底或衬底上的沉积材料层的禁带宽度对应的温度，从而利用本发明实施例的原位温度测试装置可以准确监控衬底温度与衬底的温度分布。 | ||
| 搜索关键词： | 原位 温度 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种原位温度测试装置，用于在气相沉积工艺过程中对衬底或衬底上的沉积材料层的温度进行测试，其特征在于，包括：光源，位于衬底下方，所述光源用于产生宽光谱信号，所述宽光谱信号用于照射所述衬底的下表面；宽光谱信号获取单元，用于获得透过所述衬底或沉积材料层的宽光谱信号；宽光谱信号分析单元，用于对所述宽光谱信号获取单元获得的宽光谱信号进行分析，获得该宽光谱信号的吸收光谱曲线，根据所述吸收光谱曲线，获得由于衬底或沉积材料层对宽光谱信号的禁带吸收所对应的特征波长，根据所述特征波长获得对应的衬底或沉积材料层的禁带宽度，根据材料的禁带宽度与温度的关系曲线，确定所述衬底或沉积材料层的温度。
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