[发明专利]多晶硅CVD炉蜂窝底盘无效
| 申请号： | 201110201587.9 | 申请日： | 2011-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN102311118A | 公开（公告）日： | 2012-01-11 |
| 发明（设计）人： | 茅陆荣;程佳彪;黄小华;张华芹;李严州;吴海龙 | 申请（专利权）人： | 上海森松新能源设备有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 程殿军 |
| 地址： | 201323 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅CVD炉蜂窝底盘，底盘内设有至少一个单元蜂窝，所述单元蜂窝上设有电极棒孔和进气孔。本发明的多晶硅CVD炉蜂窝底盘能保证混合气在电极棒之间辐射均匀，降低多晶硅CVD炉加热功率，降低生产能耗，保证多晶硅CVD炉内流场均匀，提高生产效率和多晶硅产品质量，同时降低多晶硅生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 cvd 蜂窝 底盘 | ||
【主权项】：
一种多晶硅CVD炉蜂窝底盘，其特征在于，底盘内设有至少一个单元蜂窝，所述单元蜂窝上设有电极棒孔和进气孔。
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