[发明专利]制备YSZ缓冲层的多通道激光镀膜方法

摘要

本发明公开一种制备YSZ缓冲层的多通道激光镀膜方法，首先将镍-钨金属基带或哈氏合金带、不锈钢带等金属基带装入镀膜腔，多次缠绕在多通道激光镀膜设备的金属带材传动装置的带辊上，然后将加热器温度升到镀膜温度；打开氧气通道；启动YSZ靶操纵器，开始YSZ激光蒸发靶台的x-方向和y-方向扫描及旋转运动；打开激光器的光路窗口，开始对YSZ靶台进行预蒸发；开始镀膜；金属基带通过传动装置的辊轴多次缠绕，多次通过加热器，最后关闭相应设备。本发明采用多通道激光镀膜法来制备YSZ缓冲层，不仅克服了单通道激光镀膜法的镀膜区域小这一缺点，大大提高了镀膜速度，而且充分发挥了激光镀膜法的各项优点，制成的YSZ缓冲层具有单一取向，表面质量优越，结晶性高。

主权项

一种制备YSZ缓冲层的多通道激光镀膜方法，其特征在于，该方法包含以下步骤：步骤1、将需要制备YSZ缓冲层的镍‑钨金属基带或哈氏合金带、不锈钢带等金属基带装入镀膜腔，多次缠绕在多通道激光镀膜设备的金属带材传动装置的带辊上；步骤2、启动加热器，将加热器温度升到设定的镀膜温度；步骤3、待加热器温度稳定后，打开氧气通道；步骤4、待镀膜腔内的镀膜温度和气压稳定后，启动YSZ靶操纵器，开始YSZ激光蒸发靶台的x‑方向和y‑方向扫描及旋转运动；步骤5、启动激光器，打开激光器的光路窗口，开始对YSZ靶台进行预蒸发；步骤6、预蒸发过程完成后，启动金属带材传动装置，按设定的镀膜速度开始镀膜过程；步骤7、镀膜过程结束后，关闭激光器的光路窗口，关闭加热器，等所有已镀膜的金属基带I都通过带辊缠绕在卷盘上后，停止牵引金属基带I传动的步进电机；步骤8、等加热器温度降低到50oC以下时，打开氮气阀门，使真空镀膜腔内充氮至1个大气压，打开镀膜腔门，取出已镀完YSZ膜的样品；步骤9、清洗镀膜腔，开始下一次镀膜工艺。