[发明专利]无镉铜铟镓硒薄膜太阳能电池及其硫化锌缓冲层薄膜的制备方法无效

专利信息
申请号: 201110202078.8 申请日: 2011-07-18
公开(公告)号: CN102270699A 公开(公告)日: 2011-12-07
发明(设计)人: 卢兰兰;刘壮;肖旭东 申请(专利权)人: 中国科学院深圳先进技术研究院
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;C03C17/36
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 吴平
地址: 518055 广东省深圳*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 一种无镉铜铟镓硒薄膜太阳能电池的制备方法,包括如下步骤:步骤一、在衬底上依次形成背电极和铜铟镓硒光吸收层,形成样片;步骤二、将二水合醋酸锌溶解于无水乙醇中,再加入稳定剂,加热形成溶胶;步骤三、将样片浸入所述溶胶中,浸渍时间为5~10秒,然后将样片从所述溶胶中提起;步骤四、将样片在100~200℃下干燥30分钟,使样片表面形成氧化锌薄膜;步骤五、将样片放入硒化室内在硫化氢的气氛下进行退火处理,将氧化锌薄膜转化为硫化锌缓冲层薄膜;及步骤六、在硫化锌缓冲层薄膜上依次形成阻挡层及窗口层。上述制备方法在退火过程中由于温度较高,因此能够提高薄膜的结晶质量。本发明还提供一种硫化锌缓冲层薄膜的制备方法。
搜索关键词: 无镉铜铟镓硒 薄膜 太阳能电池 及其 硫化锌 缓冲 制备 方法
【主权项】:
一种无镉铜铟镓硒薄膜太阳能电池的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤一、在衬底上依次形成背电极和铜铟镓硒光吸收层,形成样片;步骤二、将二水合醋酸锌溶解于无水乙醇中,再加入稳定剂,加热形成溶胶;步骤三、将所述样片浸入所述溶胶中,浸渍时间为5~10秒,然后将所述样片从所述溶胶中提起;步骤四、将所述样片在100~200℃下干燥30分钟,使所述样片表面形成氧化锌薄膜;步骤五、将所述样片放入硒化室内在硫化氢的气氛下进行退火处理,将所述氧化锌薄膜转化为硫化锌缓冲层薄膜;及步骤六、在所述硫化锌缓冲层薄膜上依次形成阻挡层及窗口层,得到所述无镉铜铟镓硒薄膜太阳能电池。
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