[发明专利]一种片式氧传感器的制造方法及片式氧传感器

摘要

本发明提供一种片式氧传感器的制造方法，包括下列步骤：在基材中加入溶剂、增塑剂和粘接剂，制成浆料；将所述浆料流延成型；在成型的基体上分别印刷内电极、外电极、保护层、加热器与绝缘层；将印刷好的基体分别切割成单体坯片并打孔；在所述打孔处印刷导电引脚，在印刷有外电极一面的坯片上印刷电极引脚；导电引脚连接；将各单体坯片叠层热压，经高温烧结形成片式氧传感器。相应地，提供一种采用上述方法制备的片式氧传感器。本发明片式氧传感器及其制造方法具有工艺流程简单、成品率高、响应时间快、激活时间短、密封性好等优点。

主权项

一种片式氧传感器的制造方法，包括如下步骤：①.制备浆料：在制备传感器基体、参比空气通道层、加热器基体的基材中加入溶剂、增塑剂和粘接剂，制成浆料；②.流延成型：将步骤①中制得的浆料分别流延制成传感器基体、参比空气通道层和加热器基体；③.第一次印刷：在制得的传感器基体上分别印刷内电极、外电极和保护层，在制得的加热器基体上分别印刷绝缘层和加热器；④.切割、冲孔：将传感器基体、参比空气通道层和加热器基体分别切割成相应的单体坯片，然后在参比空气通道层坯片上切割形成参比空气通道，在传感器基体坯片、加热器基体坯片上分别打孔；⑤.第二次印刷：在传感器基体坯片与加热器基体坯片表面的打孔位置处分别印刷导电引脚，在传感器基体坯片上印刷有外电极的一面印刷电极引脚；⑥.引脚连接：将传感器基体坯片上的内电极通过小孔与传感器基体坯片上的导电引脚连接，将加热器通过小孔与加热器基体坯片上的导电引脚连接；⑦.叠层热压、烧结成型：将传感器基体坯片、参比空气通道层坯片、加热器基体坯片叠层热压，形成片式结构，然后经高温烧结形成片式氧传感器。