[发明专利]一种靶材制备装置及其靶材加工方法有效
| 申请号： | 201110203248.4 | 申请日： | 2011-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN102260802A | 公开（公告）日： | 2011-11-30 |
| 发明（设计）人： | 崔明培;王家生;任山;李立强;刘珠凤 | 申请（专利权）人： | 佛山市钜仕泰粉末冶金有限公司 |
| 主分类号： | C22C1/04 | 分类号： | C22C1/04;B22F3/16;B22F3/105;C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 陈燕娴 |
| 地址： | 528244 广东省佛山市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种靶材制备装置，包括烧结炉体、复合加热模具、加压装置和加热装置，所述烧结炉体的内腔为真空或气氛保护腔体，复合加热模具置于烧结炉体的内腔内；所述复合加热模具设有内腔，被加工的靶材粉末置于复合加热模具的内腔内；所述加压装置与复合加热模具连接，且加热装置与加压装置连接，可直接对样品加热，复合加热模具可以单独加热。本发明还提供了由上述装置实现的靶材加工方法。本发明可用于制造大尺寸、高熔点、高密度及组成成分的熔点差别较大的合金靶材，同时本发明具有设备简单、烧结时间短、能量效率高、设备及模具损耗小、成本较低的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 装置 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种靶材制备装置，其特征在于：包括烧结炉体、复合加热模具、加压装置和加热装置，所述烧结炉体的内腔为真空或气氛保护腔体，且复合加热模具置于烧结炉体的内腔内；所述复合加热模具设有内腔，被加工的靶材粉末置于复合加热模具的内腔内；所述加压装置与复合加热模具连接，且加热装置分别与复合加热模具、加压装置连接。
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