[发明专利]基于电化学微纳体系的功能材料的微纳加工方法及其装置有效
| 申请号： | 201110203433.3 | 申请日： | 2011-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN102887478A | 公开（公告）日： | 2013-01-23 |
| 发明（设计）人： | 詹东平;杨德志 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王旭 |
| 地址： | 361005 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于电化学微纳体系的功能材料的微纳加工方法及其装置，可在特定基底或者微纳芯片上原位合成微纳米尺度的功能材料，用于构筑全固态微纳米器件。所述方法包括：构筑微纳米尺度的电化学反应器，以将合成功能材料的物理化学过程限制在微纳米尺度的空间内；以及调控待加工的导电基底或芯片上的微区物理化学环境，以在导电基底或微纳芯片上原位合成微纳米尺度的功能材料。所述装置包括微纳米尺度的电化学反应器、电化学工作站、微纳米精度的三维微动系统、视频监视器和信息处理计算机。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 电化学 体系 功能 材料 加工 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
一种基于电化学微纳体系的功能材料的微纳加工方法，所述方法包括：构筑微纳米尺度的电化学反应器，以将合成功能材料的物理化学过程限制在微纳米尺度的空间内；以及调控待加工的导电基底或芯片上的微区物理化学环境，以在导电基底或微纳芯片上原位合成微纳米尺度的功能材料。
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