[发明专利]一种用于光刻设备的对准装置和对准方法有效
| 申请号： | 201110204005.2 | 申请日： | 2011-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN102890433A | 公开（公告）日： | 2013-01-23 |
| 发明（设计）人： | 杜聚有;朱婧怡;徐荣伟 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种对准装置，包括光源、传输光纤、整形透镜组、积分器、扩束透镜组、对准光纤、光电探测器以及信号处理系统；从光源发出的光经过传输光纤、整形透镜组，转变为平行光束，平行光束经过积分器，转变为能量平均分布的光束，扩束透镜组将光束直径改变为与对准光纤芯径相当，将光束耦合到对准光纤中，从对准光纤出射的光束照射在对准标记上，从对准标记出射的光经过光电探测器将光信号转换为电信号，经过信号处理系统计算得到对准标记的位置信息。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光刻 设备 对准 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种对准装置，包括光源、传输光纤、整形透镜组、积分器、扩束透镜组、对准光纤、光电探测器以及信号处理系统；从所述光源发出的光经过所述传输光纤、所述整形透镜组，转变为平行光束，所述平行光束经过所述积分器，转变为能量平均分布的光束，所述扩束透镜组将光束直径改变为与所述对准光纤芯径相当，将光束耦合到所述对准光纤中，从所述对准光纤出射的光束照射在对准标记上，从所述对准标记出射的光经过所述光电探测器将光信号转换为电信号，经过所述信号处理系统计算得到所述对准标记的位置信息。
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