[发明专利]一种坩埚旋转加热装置无效
| 申请号： | 201110204012.2 | 申请日： | 2011-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN102340899A | 公开（公告）日： | 2012-02-01 |
| 发明（设计）人： | 虞建光 | 申请（专利权）人： | 常州海硕机械制造有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/00 | 分类号： | H05B3/00 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 王凌霄 |
| 地址： | 213100 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种坩埚旋转加热装置，用于对内表面喷涂有氮化硅的坩埚进行加热，具有底座和安装在底座上的电源箱，底座上端面固定连接有支撑座，支撑座上固定连接有支撑杆，支撑杆上可旋转连接有坩埚旋转台，坩埚旋转台由至少四面的框架并接而成，框架上固定连接有加热板，加热板由铝板和固定连接在铝板上的硅胶板组成。该一种坩埚旋转加热装置对坩埚加热均匀，温度容易控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 坩埚 旋转 加热 装置 | ||
【主权项】：
一种坩埚旋转加热装置，用于对内表面喷涂有氮化硅的坩埚进行加热，具有底座(1)和安装在底座(1)上的电源箱(2)，底座(1)上端面固定连接有支撑座(3)，支撑座(3)上固定连接有支撑杆(4)，支撑杆(4)上可旋转连接有坩埚旋转台(5)，坩埚旋转台(5)由至少四面的框架(6)并接而成，框架(6)上固定连接有加热板，其特征在于：所述加热板由铝板(7)和固定连接在铝板(7)上的硅胶板组成。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州海硕机械制造有限公司，未经常州海硕机械制造有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110204012.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种高干扰预指示信息的调整方法及装置
- 下一篇：一种自动打包机头油管防护装置
