[发明专利]一种少液滴电弧靶及带少液滴电弧靶的等离子涂层系统无效
| 申请号： | 201110204087.0 | 申请日： | 2011-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN102260850A | 公开（公告）日： | 2011-11-30 |
| 发明（设计）人： | 董小虹;张中弦;梁航;黄拿灿;亚历山大·哥罗沃依 | 申请（专利权）人： | 广东世创金属科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 广州广信知识产权代理有限公司 44261 | 代理人： | 张文雄 |
| 地址： | 528313 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种少液滴电弧靶及带少液滴电弧靶的等离子涂层系统；等离子涂层系统，由少液滴电弧靶、真空室、真空泵组、工作转盘、工艺气体和偏压电源构成；少液滴电弧靶的阴极靶和水冷座位于真空室的内腔，少液滴电弧靶的大电磁线圈、可编程直流电源、弧电流源及从水冷座的入水口处延伸出的冷却水管位于真空室外侧，少液滴电弧靶的电磁元件位于真空室的内腔或外侧。本发明通过线圈周期变化电流可以改变由电磁元件产生的拱形磁场半径，并呈现周期性变化，从而使得阴极靶表面的弧斑的运动速度加快，显著减少电弧离子镀大液滴的产生，并且使阴极靶表面均匀地烧蚀，充分利用靶材。同时具有结构简单合理，安装调节方便、冷却效果好的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 少液滴 电弧 带少液滴 等离子 涂层 系统 | ||
【主权项】：
一种少液滴电弧靶，其特征是：包括阴极靶(6)，在阴极靶(6)的背面设有水冷座(5)，从水冷座(5)的入水口处延伸出一段冷却水管，在水冷座(5)的内腔或冷却水管的表面设有永磁体电磁元件，在所述电磁元件的背面设有大电磁线圈(10)，大电磁线圈(10)连接有可编程直流电源(11)；冷却水管连接有弧电流源(12)；大电磁线圈(10)套接在冷却水管上；大电磁线圈(10)产生的磁场极性与所述永磁体电磁元件的极性必须相反，在阴极靶(6)表面形成由永磁体电磁元件与大电磁线圈(10)两者产生的叠加磁场，该磁场强度随大电磁线圈(10)的电流周期变化而变化，阴极靶(6)的阴极弧斑的运动半径随之而周期变化。
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