[发明专利]长玻璃柱体阳极键合的加热加压装置有效
| 申请号： | 201110205060.3 | 申请日： | 2011-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN102295268A | 公开（公告）日： | 2011-12-28 |
| 发明（设计）人： | 陈涛;陈立国;潘明强;王振华;孙荣川;严琴 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 常亮;李辰 |
| 地址： | 215123 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种长玻璃柱体阳极键合的加热加电装置，其包括自适应压头、加热台、集成于加热台内的加热管、设于加热台上的加热块、安装于加热块上的陶瓷块、底座以及安装于底座上的气缸，所述自适应压头包括连杆、与连杆连接的绝缘块、压头座、安装在压头座内的压头、安装在压头座上的玻璃柱加电簧片、安装在绝缘块上的硅片加电簧片，所述自适应压头通过连杆与气缸连接，所述玻璃柱加电簧片包括两个，该两个玻璃柱加电簧片分别夹紧于玻璃柱的两侧。本发明采用从玻璃柱的两侧夹紧进行加电的方式，不但可以保证加电效果，大大提高键合效率，而且在玻璃柱很长的情况下，可以缩短键合时间，便于调整加电高度。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 柱体 阳极 加热 加压 装置 | ||
【主权项】：
一种长玻璃柱体阳极键合的加热加电装置，其包括自适应压头(1)、加热台(4)、集成于加热台(4)内的加热管(9)、设于加热台(4)上的加热块(2)、安装于加热块(2)上的陶瓷块(3)、底座(6)以及安装于底座(6)上的气缸(5)，所述自适应压头(1)包括连杆(11)、与连杆(11)连接的绝缘块(12)、与绝缘块(12)连接的压头座(14)、安装在压头座(14)内的压头(13)、安装在压头座(14)上的玻璃柱加电簧片(15)、与玻璃柱加电簧片(15)接触的玻璃柱(16)、安装在绝缘块(12)上的硅片加电簧片(18)以及与硅片加电簧片(18)接触的硅片(17)，所述自适应压头(1)通过连杆(11)与气缸(5)连接，其特征在于：所述玻璃柱加电簧片(15)包括两个，该两个玻璃柱加电簧片(15)分别夹紧于玻璃柱(16)的两侧。
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