[发明专利]去离子棒有效
| 申请号： | 201110206428.8 | 申请日： | 2011-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN102427018B | 公开（公告）日： | 2012-04-25 |
| 发明（设计）人： | 朱骏;张旭昇;邱慈云 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种去离子棒，包括杆状本体和支架，所述杆状本体与所述支架连接，所述杆状本体与地面垂直，其中，还包括垂直升降装置，所述垂直升降装置与所述支架连接。本发明的有益效果是：可根据实际需求灵活调动去离子棒高度和位置。解决了由于半导体设备自身高度接近乃至高于去离子棒摆放高度时产生的设备搬运、安装、维护带来的诸多不便。 | ||
| 搜索关键词： | 离子棒 | ||
【主权项】：
一种去离子棒，包括杆状本体和支架，所述杆状本体与所述支架连接，所述杆状本体与地面垂直，其特征在于，还包括垂直升降装置，所述垂直升降装置与所述支架连接；其中，所述杆状本体与所述支架之间有连接部件，所述连接部件为横向移动装置；所述杆状本体由多节组成，所述杆状本体内置伸缩装置；所述支架包括一对纵杆和一条横杆，所述一对纵杆一端垂直连接于屋顶，另一端与所述横杆连接，所述横杆与地面平行，所述一对纵杆与所述横杆之间有连接部件，所述连接部件为垂直升降装置；所述杆状本体一端与所述横杆连接，且垂直于所述横杆，所述杆状本体与所述横杆之间有连接部件，所述连接部件为横向移动装置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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