[发明专利]一种Na2SiF6热解生产SiF4的方法有效
| 申请号： | 201110207003.9 | 申请日： | 2011-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN102398906A | 公开（公告）日： | 2012-04-04 |
| 发明（设计）人： | 李世江;侯红军;杨华春;于贺华;薛旭金;陈宏伟;刘海霞;王建萍;郑艳萍;尚钟声 | 申请（专利权）人： | 多氟多化工股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 郑州睿信知识产权代理有限公司 41119 | 代理人： | 牛爱周 |
| 地址： | 454191 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种利用磷肥工业副产物Na2SiF6热解生产SiF4的方法，该方法的步骤为：将Na2SiF6在真空干燥器内干燥，之后由导料槽进入定量加料器，在定量加料器内与NaF混合后送入高温反应釜或高温循环流化床，在600～750℃热解1～3小时，高温反应釜或高温循环流化床内压力控制为10～50mmH2O，热解产生NaF和SiF4气体；NaF返回定量加料器使用，SiF4气体进入冷凝器冷凝，再经除尘处理后经两级活性炭吸附柱净化，再经冷冻压缩后，导入钢瓶储存。本发明提供的生产方法生产成本低，生产过程中无任何废弃物产生，做到了真正的清洁生产，制得的四氟化硅气体产品的质量稳定，纯度均可达到99.9%。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 na sub sif 生产 方法 | ||
【主权项】：
一种Na2SiF6热解生产SiF4的方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）Na2SiF6经加料器送入真空干燥器，Na2SiF6在真空干燥器内于200～350℃真空干燥1～3小时；（2）真空干燥完毕后由导料槽送入定量加料器，在定量加料器内与NaF按重量比为Na2SiF6:NaF=10:（1～5）混合后送入高温反应釜或高温循环流化床，在600～750℃热解1～3小时，高温反应釜或高温循环流化床内压力控制为10～50mmH2O，热解产生NaF和SiF4气体；（3）热解产生的NaF返回定量加料器使用，热解产生的SiF4气体由干式真空泵导出，进入冷凝器冷凝，然后再经除尘器去除Na2SiF6微粉，之后依次经一级活性炭吸附柱和二级活性炭吸附柱两级净化，然后再于‑80～‑30℃温度条件下2～5MPa冷冻压缩后，导入压力为2～5MPa的钢瓶储存。
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