[发明专利]一种用于动态配气系统中的快速气氛切换装置

摘要

本发明属于气体传感器技术领域，特别涉及用于动态配气系统的快速气氛切换装置。本发明由位于腔体中的两个独立气室、侧面磨砂镀膜的圆柱形转体、位于转体底部侧面扇形窗口中的两个气体传感器及外接的动态配气系统组成。在圆柱形转体旋转过程中，两个气体传感器在两个气室之间切换，而这两个气室将分别通入由动态配气系统所发生的背景气体与目标气体，从而实现超低浓度气氛下气体传感器响应恢复时间的准确测量。本发明的主要优点是装置结构简单、成本低廉，两个气体传感器在两种动态配气系统所产生的气氛之间可以快速(小于1秒)地切换，同时转动过程不会引起气室之间的气氛交换。

主权项

一种用于动态配气系统中的快速气体氛围切换装置，其特征在于：在实心腔体(1)中镂空出相互独立、密闭性良好、结构对称的多个气室；每个气室分别连接气体动态配气系统和废气排放装置；在多个气室的对称中心处设置有侧面磨砂镀膜的实心圆柱形转体(10)，在圆柱体转体(10)的侧面开有与气室数目相同且位置对称的扇形窗口，在每个扇形窗口分别放置气体传感器，气体传感器引线通过圆柱形转体(10)顶部的引线开口外接气体传感器特性分析仪；实心圆柱形转体(10)沿其轴向与多个气室部分重叠，使扇形窗口在实心圆柱形转体(10)转动过程中能够位于气室内，使每个气体传感器在多个气室间快速切换，即在背景气体和目标气体的气氛间快速切换，从而由气体传感器特性分析仪器测量气体传感器在超低浓度气氛中的响应和恢复特性。