[发明专利]金属膜用研磨液及研磨方法有效
| 申请号： | 201110208059.6 | 申请日： | 2008-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN102352187A | 公开（公告）日： | 2012-02-15 |
| 发明（设计）人： | 田中孝明;深泽正人;野部茂;樱田刚史;筱田隆 | 申请（专利权）人： | 日立化成工业株式会社 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;H01L21/321;B24B37/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;於毓桢 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种金属膜用研磨液及研磨方法。该金属膜用研磨液包含磨粒、由甲基丙烯酸系聚合物构成的水溶性聚合物和水，其能够维持对层间绝缘膜的良好的研磨速度，同时抑制侵蚀和裂缝的发生，使得被研磨面的平坦性高。 | ||
| 搜索关键词： | 金属膜 研磨 方法 | ||
【主权项】：
一种金属膜用研磨液，其特征在于，包含磨粒、由甲基丙烯酸系聚合物构成的水溶性聚合物和水。
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