[发明专利]微影投射设备、气体洗涤方法、装置制造方法及洗涤气体的供应系统

摘要

一种微影投射设备，包括：支撑件，被建构来支撑一图案成形装置，该图案成形装置被建构以依据一图案而使一投射光束形成图案。该设备具有基板平台，被建构成托住一基板；及投射系统，被建构成投射被图案成形过的光束到该基板的目标区域之上。该装置也具有一洗涤气体供应系统，其被建构来将一种洗涤气体提供到靠近微影投射设备的一组件的表面。该洗涤气体供应系统包括：洗涤气体混合物产生器，被建构来产生一洗涤气体混合物，包括至少一洗涤气体与雾气。该洗涤气体混合物产生器具有：一雾化器，被建构来将雾气加入到洗涤气体中；以及一洗涤气体混合物出口，被连接到洗涤气体混合物产生器，洗涤气体混合物产生器被建构来将洗涤气体提供到靠近该表面。

主权项

一种设备，其包括：一洗涤气体混合物产生器，该洗涤气体混合物产生器包括一蒸发器，该蒸发器被建构来将一可蒸发液体加入到一洗涤气体中，以产生一洗涤气体混合物，其中，该蒸发器包括一含有一洗涤气体流的第一区域及一含有该可蒸发液体的第二区域，其中该第一区域与第二区域是由一薄膜接触器所隔开，该蒸发器進一步包含一洗涤气体混合物出口；一温度调节系统，该温度调节系统将该蒸发器的温度、该洗涤气体混合物出口的温度或上述这些的组合的温度维持在一个或更多的设定点范围内；以及一压力调节系统，该压力调节系统维持可蒸发液体与洗涤气体的压力，以防止在该薄膜接触器中在该可蒸发液体中形成洗涤气体的气泡。