[发明专利]硅-玻璃键合片的激光加工装置及其方法有效
| 申请号： | 201110211813.1 | 申请日： | 2011-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN102310285A | 公开（公告）日： | 2012-01-11 |
| 发明（设计）人： | 赵裕兴;狄建科;益凯劼;吴晓东 | 申请（专利权）人： | 苏州德龙激光有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/40 | 分类号： | B23K26/40;B23K26/06;B23K26/14 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 王玉国;陈忠辉 |
| 地址： | 215021 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及硅-玻璃键合片的激光加工装置及方法，紫外高频率超短脉冲激光器的输出端布置有光闸、扩束镜和孔径光阑，孔径光阑的输出端布置有一对45度全反射镜，45度全反射镜的输出端布置有偏转镜头，偏转镜头的输出端布置有45度全反射镜，45度全反射镜的输出端布置聚焦镜，聚焦镜正对于三维移动平台，聚焦镜的下方安装有CCD照明灯，三维移动平台的上方布置有同轴CCD对位观察系统。紫外高频率超短脉激光器发出的光束经光学聚焦焦点在被加工的玻璃材料上表面上，螺旋偏转镜片控制一次切割的切割道宽度，调制出合适的切割道宽度，精确定位切割的切割道，控制焦点随着切割深度的增加而相应下降，依次进行硅-玻璃键合片上各条切割道的切割。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 键合片 激光 加工 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
硅 玻璃键合片的激光加工装置，其特征在于：紫外高频率超短脉冲激光器（1）的输出端布置有光闸（2），光闸（2）的输出端设置有扩束镜（3），扩束镜（3）的输出端布置有孔径光阑（4），孔径光阑（4）的输出端布置有一对45度全反射镜（5），45度全反射镜（5）的输出端布置有偏转镜头（6），偏转镜头（6）的输出端布置有45度全反射镜，45度全反射镜的输出端布置聚焦镜（9），聚焦镜（9）正对于三维移动平台（13），聚焦镜（9）的下方安装有CCD照明灯（11），所述三维移动平台（13）的上方布置有同轴CCD对位观察系统（8），所述工作平台（9）上还安装有同轴吸气系统（10）。
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