[发明专利]试料检查装置以及试料检查方法

摘要

本发明提供一种试料检查装置以及试料检查方法，通过将多种计测方法加以组合，从而使得可检查的试料不受限制。试料检查装置具备入射部(11)、反射光受光部(12)以及分析部(13)(椭率计部)、X射线源(21)、荧光X射线检测部(22)以及分析部(23)(X射线测定部)、激光光源(31)、分束器(34)、拉曼散射光检测部(32)以及分析部(33)(拉曼散射光测定部)。能够使用与试料(6)相应的适当的方法来计测试料的厚度。而且，通过将椭圆偏光法以及荧光X射线分析加以组合，从而能够独立地计测试料(6)的厚度与折射率等的光学特性。而且，当试料(6)为多层试料时，能够利用适当的方法来检查各层。

主权项

一种试料检查装置，其特征在于包括：椭率计部，向试料入射直线偏光，接收来自试料的反射光，对入射光与反射光之间的偏光的变化进行测定；X射线测定部，向试料照射X射线，对来自试料的X射线进行测定；以及分析部，根据所述椭率计部或所述X射线测定部的测定结果，进行用于求出试料的厚度的分析。