[发明专利]压电振动设备及其制造方法、谐振频率的调整方法无效
| 申请号： | 201110213173.8 | 申请日： | 2011-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN102377402A | 公开（公告）日： | 2012-03-14 |
| 发明（设计）人： | 和田充洋;加藤达;田中悟 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H03H3/04 | 分类号： | H03H3/04 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 雒运朴 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种能够一方面防止表面粗糙度的增大和构造破坏一方面使谐振频率上升的压电振动设备及其制造方法、谐振频率的调整方法。本发明是具有声表面波元件的压电振动设备的制造方法，其特征在于，包括在上述声表面波元件的表面上形成用于提高声表面波的速度的功能膜的工序。此外，上述功能膜的杨氏模量比上述激励电极的杨氏模量以及上述压电体的杨氏模量大，并且上述功能膜的密度比上述激励电极的密度及上述压电体的密度低。由此，能够在抑制质量附加效果对频率降低的影响的同时，发现基于弹性模量上升的频率上升，能够使声表面波元件的谐振频率上升。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 振动 设备 及其 制造 方法 谐振 频率 调整 | ||
【主权项】：
一种压电振动设备的制造方法，是具有声表面波元件的压电振动设备的制造方法，其特征在于，包括在上述声表面波元件的表面上形成用于提高声表面波的速度的功能膜的工序。
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