[发明专利]一种高富W固溶体相含量的W-10Ti合金的制备方法

摘要

一种高富W固溶体相含量的W-10Ti合金的制备方法，包括球磨、混料、压制、液相烧结四个步骤，通过球磨细化TiH2粉再与微米W粉混合，采用液相烧结法制备W-Ti合金。使W-Ti合金的致密度提高，合金中的富W固溶体含量增加，富Ti相减少，富W固溶体区W、Ti两种元素分布更为均匀。本发明的制备方法所制备出的合金靶材所制备的薄膜粒子污染少。

主权项

一种高富W固溶体相含量的W‑10Ti合金的制备方法，其特征在于，按照以下步骤实施：步骤1，球磨将质量浓度为10%的高纯TiH2粉装入球磨罐中，添加质量浓度为2%~4%的过程控制剂，在200r/min的高能球磨机上进行球磨，球磨时间为0~60h； 步骤2，混料分别称取W粉和经步骤1球磨过的TiH2粉，W粉和TiH2粉的质量比为90:10，将这两种粉末加入研磨球和质量浓度为4%的无水乙醇后装罐，在200r/min的高能球磨机上进行混料，混料时间为4~8小时；步骤3，压制将步骤2混合好的W粉和TiH2粉的混合粉装入钢性模具中进行压制，压强为500~700MPa，保压时间为30~60秒；步骤4，液相烧结将步骤3压制成的压坯放置于石墨坩埚内，在真空碳管烧结炉中进行烧结，首先对炉内抽真空，保证炉体内的真空度小于1.0x10‑1Pa；再向炉内通入氩气，然后以10℃/min的加热速度进行加热，当炉内温度达到500℃~650℃时，保温20~40min；再以10℃/min的加热速度继续升温，至1700℃~1800℃时，保温90min~120min，然后关闭加热电源，随炉自然冷却到室温，即得。