[发明专利]一种具有高占空比的微机械热电堆红外探测器及制作方法有效
| 申请号： | 201110213982.9 | 申请日： | 2011-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN102322961B | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 熊斌;徐德辉;马颖蕾;王跃林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01J5/12 | 分类号： | G01J5/12;G01J5/14;B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司31002 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高占空比非致冷热电堆红外探测器的结构及制作方法，其特征在于在采用了L形折叠型热电偶臂设计，摈弃了传统热电堆结构笔直的结构设计，将热电偶臂进行了折叠处理，折叠部分的热电偶臂相互垂直。热电堆结构冷结区(21)固定在硅基体(13)上，热电堆结构热结区端(20)固定在红外吸收区(15)上，热电堆结构下方的硅衬底(16)通过硅腐蚀技术去除，而热电堆传感器的热电偶臂(14和12)则通过折叠的方式分布在吸收区四周。本发明微机械热电堆结构可广泛应用于红外探测器、气体传感器和真空传感器等微机电传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 高占空 微机 热电 红外探测器 制作方法 | ||
【主权项】：
一种具有高占空比的微机械热电堆红外探测器，其特征在于在采用了L形折叠型热电偶臂设计，将热电偶臂进行了折叠处理，热电堆结构冷结区固定在硅基体上，热电堆结构热结区端固定在红外吸收区上，热电堆结构下方的硅衬底通过硅腐蚀技术去除，而热电堆传感器的热电偶臂则通过折叠的方式分布在吸收区四周，所述的L形折叠型热电偶臂为等长对折、三次等长折叠或2/3长度处折叠。
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