[发明专利]一种利用激光制作金属微纳结构的系统与方法有效
| 申请号： | 201110214482.7 | 申请日： | 2011-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN102285635A | 公开（公告）日： | 2011-12-21 |
| 发明（设计）人： | 段宣明;曹洪忠;贾雁鹏;陈述;董贤子;赵震声 | 申请（专利权）人： | 中国科学院理化技术研究所 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人： | 张雪梅 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种利用激光制作金属微纳结构的系统与方法。该系统包括提供第一激光束的脉冲激光光源，提供第二激光束的激光光源，用于将第一激光束和第二激光束聚焦到同一焦点的光学聚焦组件，和计算机控制的微移动台。该方法包括以下步骤：将承载有金属离子溶液的样品置于所述微移动台上，将第一激光光源输出的激光束调节至使所述金属离子产生多光子效应的波长，将第二激光光源输出的激光束调节至使所述金属的纳米颗粒产生表面等离子体吸收和光镊作用的波长，调节光学聚焦组件使第一激光束和第二激光束聚焦为同一焦点；用聚焦的激光束照射所述金属离子溶液，使激光焦点在金属离子溶液中移动，获得金属微纳结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 激光 制作 金属 结构 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种利用激光制作金属微纳结构的系统，包括：第一激光光源，用于提供脉冲宽度为从纳秒到飞秒范围，重复频率为1Hz‑100MHz，波长调节范围为157nm‑1064nm的第一激光束；用于调节第一激光束曝光能量的第一光衰减器；第二激光光源，用于提供波长为300nm到1064nm的第二激光束；用于调节第二激光束曝光能量的第二光衰减器；光学聚焦组件，用于将第一激光束和第二激光束聚焦到同一焦点；和计算机控制的微移动台。
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