[发明专利]一种多组元氮化物硬质反应膜的退除方法无效

专利信息
申请号: 201110214822.6 申请日: 2011-07-29
公开(公告)号: CN102277587A 公开(公告)日: 2011-12-14
发明(设计)人: 张钧;贾恒;陈蒙;田录;赵时璐;姚志敏 申请(专利权)人: 沈阳大学
主分类号: C23G1/14 分类号: C23G1/14
代理公司: 沈阳东大专利代理有限公司 21109 代理人: 戚羽
地址: 110011 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 一种多组元氮化物硬质反应膜的退除方法,其步骤包括:确定葡萄糖酸钠、氢氧化钠、含30%H2O2的双氧水、十二烷基磺酸钠、三聚磷酸钠、蒸馏水作为配制退除液的原料;退除液的配制;退除工艺的确定。本发明操作简便,可以将各种形状工件表面的镀膜层完全退除掉。
搜索关键词: 一种 多组元 氮化物 硬质 反应 方法
【主权项】:
一种多组元氮化物硬质反应膜的退除方法,其特征是:其步骤为:(1)、退除液原料的确定:确定葡萄糖酸钠、氢氧化钠、含30%H2O2的双氧水、十二烷基磺酸钠、三聚磷酸钠、蒸馏水作为配制退除液的原料;(2)、退除液的配制:第一步,向玻璃容器中加入质量百分数为63.5%~68%的蒸馏水;第二步,向玻璃容器中加入质量百分数为1.5%~3.5%的葡萄糖酸钠,搅拌直至完全溶解;第三步,向玻璃容器中缓缓加入质量百分数为6.5%~10%的氢氧化钠,一边放药品一边快速搅拌直至全部溶解,在溶解过程中,会释放一定量的热量,引起温度略有上升;第四步,将质量百分数为0.2%~0.4%的十二烷基磺酸钠粉末与质量百分数为0.2%~0.4%的三聚磷酸钠粉末复配,其中,十二烷基磺酸钠与三聚磷酸钠的质量分数之比处于1:1至1:0.7之间,且二者的质量百分数之和必须处于0.4%~0.8%,然后混合均匀,倒入玻璃容器中,并快速手动搅拌,8~10分钟后停止搅拌,自然冷却到室温;第五步,向玻璃容器中加入质量百分数为20%~25%的含30%H2O2的双氧水,其中,氢氧化钠与含30%H2O2的双氧水的质量分数之比处于1:3.5至1:2之间,且二者的质量百分数之和必须处于29%~33%之间,然后搅拌均匀,得到退除液;(3)、退除工艺的确定:为叙述方便,以下镀覆多组元氮化物硬质反应膜的样品简称为镀膜样品,第一步,用不锈钢丝将镀膜样品和固定架连接并固定,其中固定架置于玻璃容器上方,镀膜样品置于上述退除液中,保持竖直,同时保证镀膜样品浸泡于退除液中,并不与玻璃容器底部及侧壁接触;第二步,用肉眼观察样品表面的颜色变化,会发现颜色逐渐变浅,直到变成未镀膜前的金属基体颜色和金属光泽;第三步,待镀膜样品表面的膜层反应完全后取出退膜后的镀膜样品,即,退除TiAlN膜和TiAlZrN膜时间为30分钟;退除TiZrN膜时间为120分钟;第四步,用蒸馏水冲洗退膜后的镀膜样品表面2分钟;第五步,采用无水乙醇清洗退膜后的镀膜样品1分钟后并吹干。
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