[发明专利]一种纳米级图形化蓝宝石衬底的制备方法

摘要

本发明提供一种纳米级图形化蓝宝石衬底的制备方法，该方法包括：首先清洗蓝宝石衬底，并在其表面蒸镀一层金属铝膜；同时制备具有纳米结构的模板，通过压印或刻蚀在铝膜上产生相应的图形；放入电解质溶液中进行阳极氧化，直至铝膜表面的颜色发生明显变化且电流降至0为止，进行通孔，在氧化铝层上获得图形化纳米结构；然后淀积一层金属镍；放入强碱溶液中溶解掉氧化铝层，在蓝宝石衬底上得到金属镍纳米点阵；以上述的金属镍点阵为掩膜刻蚀蓝宝石，在蓝宝石衬底上获得深度可控的纳米结构阵列。本发明利用阳极氧化铝的方法在蓝宝石上获得高有序的纳米结构阵列。与现有技术相比，本发明制备过程简单，重复性好，成品率高。

主权项

一种纳米级图形化蓝宝石衬底的制备方法，其步骤包括：1)清洗蓝宝石衬底，并在其表面蒸镀一层金属铝膜；2)制备具有纳米结构的模板，利用压印或刻蚀技术，在所述金属铝膜上形成与模板相对应的图形；3)将带有金属铝膜的蓝宝石衬底放入电解质溶液中进行阳极氧化，在氧化铝层上获得图形化纳米结构；4)进行丙酮、酒精、去离子水清洗，然后在氧化铝层上淀积一层金属镍；5)放入强碱溶液中溶解掉氧化铝层，在蓝宝石衬底上得到金属镍纳米点阵；6)以上述的金属镍点阵为掩膜刻蚀蓝宝石，在蓝宝石衬底上获得深度可控的纳米结构阵列，同时去除残留的金属镍。