[发明专利]纳秒激光刻蚀亚波长周期性条纹的方法无效
| 申请号： | 201110215663.1 | 申请日： | 2011-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN102416527A | 公开（公告）日： | 2012-04-18 |
| 发明（设计）人： | 夏志林 | 申请（专利权）人： | 武汉理工大学 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;G02B5/18;C03C17/23 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 张安国;伍见 |
| 地址： | 430070 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了纳秒激光刻蚀亚波长周期性条纹结构的方法，刻蚀试样为采用溶胶-凝胶法镀制了氧化硅薄膜的光学玻璃；氧化硅溶胶采用碱催化方法所获得，采用提拉镀膜法在光学玻璃表面沉积薄膜；采用纳秒激光刻蚀经过镀制了氧化硅薄膜的光学玻璃的样品，可以在光学玻璃表面得到亚波长周期性条纹结构。本发明扩展了纳秒激光在纳米显微加工领域的应用，得到的亚波长条纹周期可调，深度可控。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 刻蚀 波长 周期性 条纹 方法 | ||
【主权项】：
纳秒激光刻蚀亚波长周期性条纹的方法，其特征在于：其纳秒激光刻蚀采用溶胶‑凝胶法沉积了氧化硅薄膜的光学玻璃。
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