[发明专利]基于仿生蛾眼半导体异质结太阳能电池及其制造方法

摘要

基于仿生蛾眼半导体异质结太阳能电池及其制造方法，在单晶半导体衬底上淀积氧化硅(SiO2)或氮化硅(Si3N4)作为隔离层，在单晶半导体衬底表制备出仿生蛾眼阵列，在衬底背面蒸发金属作为背电极，在隔离层表面制备金属前电极，在阵列上填充半导体材料形成异质结，制得的半导体异质结太阳能电池结构简单，易于制备，不仅能有效地减少入射光的反射，而且可以增大异质结的接触面积，从而达到提高太阳能电池能量转换效率的目的。

主权项

基于仿生蛾眼半导体异质结太阳能电池，其特征在于，包括单晶半导体衬底(1)，单晶半导体衬底(1)上面淀积隔离层(2)，单晶半导体衬底(1)背面淀积金属背电极(3)，在隔离层(2)上开窗口形成有效结区，在结区中制备有仿生蛾眼阵列(4)，在隔离层(2)的窗口周围淀积有金属前电极(5)，在仿生蛾眼阵列(4)上制备有另一种半导体材料(6)。