[发明专利]排气分析系统有效
申请号: | 201110217908.4 | 申请日: | 2011-07-22 |
公开(公告)号: | CN102346105A | 公开(公告)日: | 2012-02-08 |
发明(设计)人: | 大槻喜则;篠原政良;花田和郎 | 申请(专利权)人: | 株式会社堀场制作所 |
主分类号: | G01N1/22 | 分类号: | G01N1/22 |
代理公司: | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人: | 杨暄 |
地址: | 日本京都府京*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及一种将在测定对象气体流路(12)中流动的测定对象气体的一部分导入并进行分析气体分析装置(3)以及气体分析系统(100),其设有为了对在测定对象气体流路(12)中流动的测定对象气体进行控制、或确保自身和其它的测定精度,取得从测定对象气体流路(12)被导入的一部分测定对象气体,对该测定对象气体所包含的测定对象物的量等进行测定的对象物测定单元(35);取得气体流量测定单元(34),其对所述对象物测定单元(35)所取得的测定对象气体的流量进行测定;气体返回单元(36),将与所述取得气体流量测定单元(34)所测定的气体流量等流量的其它气体返回到所述测定对象气体流路(12)的分流点的下游侧。 | ||
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【主权项】:
一种气体分析装置,其特征在于,包括:气体导入端口,其连通设在测定对象气体流路的分流点,导入在该测定对象气体流路中流动的测定对象气体的一部分;对象物测定单元,其取得从所述气体导入端口导入的测定对象气体,对该测定对象气体所包含的测定对象物的量或者浓度进行测定;取得气体流量测定单元,其对所述对象物测定单元所取得的测定对象气体的流量进行测定;气体返回单元,将与所述取得气体流量测定单元所测定的气体流量等流量的其它气体返回到所述测定对象气体流路的分流点的下游侧。
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