[发明专利]气致冷多晶硅铸锭炉的闭式冷却系统有效
| 申请号： | 201110218517.4 | 申请日： | 2011-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN102234837A | 公开（公告）日： | 2011-11-09 |
| 发明（设计）人： | 曹建伟;石刚;傅林坚;叶欣;邱敏秀 | 申请（专利权）人： | 浙江晶盛机电股份有限公司;上虞晶信机电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 金祺 |
| 地址： | 312300 浙江省绍兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及多晶硅铸锭炉的制造技术领域，旨在提供一种气致冷多晶硅铸锭炉的闭式冷却系统。该系统包括位于支撑柱上的用于放置坩埚的热交换台，所述热交换台内部设置冷却气通道，冷却气通道两端的气体入口和气体出口分别连接冷却气进气管路和冷却气出气管路；热交换台、冷却气进气管路、冷却气出气管路、冷却气动力泵组、冷却器构成一个冷却气闭式循环回路。相比辐射降温和水冷式的冷却方法，本发明中的气体致冷控制能力强、工业可控性高，而且由于气体均匀进入热交换台使得热交换台整体温度均匀，有利于坩埚底部硅熔体的均匀形核，可以在长晶过程中对坩埚底部温度的下降速度进行精确控制。 | ||
| 搜索关键词： | 致冷 多晶 铸锭 冷却系统 | ||
【主权项】：
气致冷多晶硅铸锭炉的闭式冷却系统，包括位于支撑柱上的用于放置坩埚的热交换台，其特征在于，所述热交换台内部设置冷却气通道，冷却气通道两端的气体入口和气体出口分别连接冷却气进气管路和冷却气出气管路；热交换台、冷却气进气管路、冷却气出气管路、冷却气动力泵组、冷却器构成一个冷却气闭式循环回路。
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