[发明专利]光波导生物化学传感器及其制备方法无效
| 申请号： | 201110220041.8 | 申请日： | 2011-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN102410991A | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | 荣国光;潘胜非;祝永新 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01N21/47 | 分类号： | G01N21/47 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 郭国中 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光波导生物化学传感器、制备方法以及基于这种传感器的光波导特征模式检测系统，光波导生物化学传感器包括：棱镜、一硅基底层，嵌入在所述硅基底层中的多孔硅衬底层和多孔硅光波导层，所述多孔硅光波导层位于所述多孔硅衬底层外层，在所述棱镜和所述多孔硅光波导层之间设置有空气隙。本发明具有采用多孔硅作为传感材料，该材料具有表面积高、制备成本低、结构参数可调节性大、响应速度快、温度适应性好、目标分子兼容性好、测量精度高等特点，是生物化学传感的理想材料。 | ||
| 搜索关键词： | 波导 生物化学 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种光波导生物化学传感器，其特征在于，包括：棱镜、一硅基底层，嵌入在所述硅基底层中的多孔硅衬底层和多孔硅光波导层，所述多孔硅光波导层位于所述多孔硅衬底层外层，在所述棱镜和所述多孔硅光波导层之间设置有空气隙。
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