[发明专利]LED阵列无效
| 申请号： | 201110220956.9 | 申请日： | 2008-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN102254906A | 公开（公告）日： | 2011-11-23 |
| 发明（设计）人： | 河西繁;铃木智博;田中澄;米田昌刚;宫下大幸 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01L25/075 | 分类号： | H01L25/075 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李伟;舒艳君 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的退火装置具有：处理室(1)，其容纳晶片(W)；加热源(17a、17b)，其被设置成面向晶片(W)的面，并具有对晶片(W)照射光的多个LED(33)；透光部件(18a、18b)，其对应于上述加热源(17a、17b)地设置，并使来自发光元件(33)的光透射，其中，加热源(17a、17b)构成为在支撑体(32)上朝向晶片(W)侧安装有多个发光元件(33)，发光元件分别单独地被由透明树脂构成的透镜层(20)覆盖。 | ||
| 搜索关键词： | led 阵列 | ||
【主权项】：
一种LED阵列，由散热部件、层叠于上述散热部件之上的支撑体、和在上述支撑体上朝向被处理体安装的多个LED构成，并对上述被处理体进行加热，其特征在于，上述散热部件为铜，上述支撑体为AIN。
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