[发明专利]一种双结构绒面透明导电电极的制备方法

摘要

本发明涉及一种双结构绒面透明导电电极的制备方法，属于薄膜太阳电池制造技术领域。技术方案是首先采用薄膜沉积技术在基片（1）上制备透明导电氧化物，称之为TCO透明导电薄膜（2），利用湿法刻蚀的方法对其薄膜表面进行刻蚀；通过改变工艺参数，来获得尺寸较大的绒面织构，称之为绒面织构的TCO薄膜（3）；其次，在此绒面织构的TCO薄膜表面，采用镀膜技术，沉积BZO透明导电薄膜（4），通过调整BZO透明导电薄膜沉积参数来获得尺寸较小的绒面织构，使整个透明电极具有双结构的绒面织构，应用于薄膜太阳能电池，对可见光和近红外光均能实现有效的光散射，拓宽电池对太阳光谱的充分利用。

主权项

一种双结构绒面透明导电电极的制备方法，其特征在于包含如下工艺步骤：首先采用薄膜沉积技术在基片（1）上制备透明导电氧化物，称之为TCO透明导电薄膜（2），利用湿法刻蚀的方法对其薄膜表面进行刻蚀；通过改变工艺参数，来获得尺寸较大的绒面织构，称之为绒面织构的TCO薄膜（3）；其次，在此绒面织构的TCO薄膜表面，采用镀膜技术，沉积BZO透明导电薄膜（4），通过调整BZO透明导电薄膜沉积参数来获得尺寸较小的绒面织构，使整个透明电极具有双结构的绒面织构，应用于薄膜太阳能电池，对可见光和近红外光均能实现有效的光散射。