[发明专利]多晶炉红外测温装置及采用多晶炉红外测温装置的多晶炉有效
申请号: | 201110224326.9 | 申请日: | 2011-08-08 |
公开(公告)号: | CN102286778A | 公开(公告)日: | 2011-12-21 |
发明(设计)人: | 吴学军;周凯平 | 申请(专利权)人: | 宁夏日晶新能源装备股份有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 银川长征知识产权代理事务所 64102 | 代理人: | 马长增 |
地址: | 753000 宁夏回*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | 一种多晶炉红外测温装置,包括温度计基架、第一镜、第二镜、螺塞、石英棒、检测套杆、红外测温仪、元件承载部。温度计基架固定在多晶炉的腔体的上法兰上,其中,温度计基架包括固定在腔体上法兰上的固定座、固定在固定座上的观察筒及固定在观察筒上的密封座,其中固定座的中心开设有观察孔及穿入孔,观察筒与观察孔同心设置,密封座的通孔与观察筒的观察孔同心设置,第一镜安装在密封座的通孔内。螺塞旋在温度计基架的固定座上,且与固定座上的穿入孔同心。元件承载部设置在在温度计基架上,将第二镜、红外测温仪置于密封座正上方。本发明还提供一种采用该多晶炉红外测温装置的多晶炉。 | ||
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【主权项】:
一种多晶炉红外测温装置,其特征在于:多晶炉红外测温装置包括温度计基架、第一镜、第二镜、螺塞、石英棒、检测套杆、红外测温仪、元件承载部;温度计基架固定在多晶炉的腔体的上法兰上,其中,温度计基架包括固定座、观察筒及密封座,固定座固定在腔体的上法兰上,固定座的中心开设有观察孔及穿入孔,观察筒的一端固定在固定座上且与观察孔同心设置,密封座固定在观察筒的另一端;密封座上开设有通孔,且通孔与观察筒的观察孔同心设置,第一镜安装在密封座的通孔内;螺塞旋在温度计基架的固定座上,且与固定座上的穿入孔同心;石英棒穿过螺塞及穿入孔后插在石英坩埚中;检测套杆通过卡箍与温度计基架的观察筒连通;元件承载部设置在在温度计基架上,用于承载第二镜、红外测温仪,且将第二镜、红外测温仪置于密封座正上方。
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