[发明专利]一种锥形氧化锌亚微米棒及其阵列的制备方法

摘要

本发明涉及一种以普通硅片为基底通过气相蒸镀法生成的亚微米级的具有六方柱锥形的氧化锌棒的制备方法。首先，将ZnO粉末与C粉按照一定的质量比均匀混合，混合均匀后放入石英舟内，在石英舟上放置一片普通硅片，然后一起放入水平管式气相反应炉内，加热至一定温度，加热过程通入氮气，加热到一定温度后，保温一段时间，并且通入氧气，最后将炉子自然冷却到室温。利用本方法制备锥形氧化锌亚微米结构成本较低，工艺、设备简单，安全可靠，通用性、可操作性强。该锥形氧化锌亚微米结构可用于高灵敏度气体传感器、压力传感器以及氧化锌压电发电机方面的应用。

主权项

一种制备六方锥形氧化锌亚微米棒或其阵列的方法，所述方法包括以下步骤：1)称取氧化锌和碳粉，将其混合形成反应物，放入容器中；2)将硅片洗净，并放置在步骤1)所述容器的上方，所述硅片与所述容器之间的距离为1‑8毫米；3)将步骤1)中的容器和步骤2)中的硅片放入反应炉内，并且使硅片所处位置位于反应炉的正中心；4)抽真空，使反应炉以10‑20℃/min升温，同时以50‑150sccm的量来通入氮气，反应需要40‑60min并升温至950‑1050℃，且升温过程中保持压强在1‑12kPa；5)当温度达到950‑1050℃，停止通入氮气，以50‑100sccm的量通入氧气，通入时间为20‑40min，并且在通入的过程中使氧气的通入量以1‑5sccm下降或上升，待反应结束后停止通入氧气，自然冷却，即得六方锥形氧化锌亚微米棒或其阵列。