[发明专利]用于金属颗粒去除的模块和工艺无效
申请号: | 201110225379.2 | 申请日: | 2011-08-03 |
公开(公告)号: | CN102376823A | 公开(公告)日: | 2012-03-14 |
发明(设计)人: | 奥弗·卡达尔;奥弗·埃米尔;巴布·钦纳萨米 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;B08B1/02 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 一种用于金属颗粒去除的模块和工艺。本发明的实施方式提供了一种处理太阳能电池器件的装置和方法。在一个实施方式中,所述方法通过清洗模块从太阳能电池器件的边缘区域去除颗粒,所述太阳能电池器件的背面上被施加有恒定负载,其中清洗模块具有二或更多个辊型刷,所述辊型刷设置在旋转台相对侧上,所述旋转台位于质量保证设备之前和/或之后,所述质量保证设备被配置成检测和校正在太阳能电池器件中的缺陷,和传送太阳能电池器件至边缘消除设备中,在边缘消除设备中,使用电磁辐射能自太阳能电池器件的顶面去除材料。所述辊型刷包括非研磨硬毛,所述非研磨硬毛被配置成在将太阳能电池器件传送到边缘消除设备之前,从太阳能电池器件的周边区域去除不希望的材料。 | ||
搜索关键词: | 用于 金属 颗粒 去除 模块 工艺 | ||
【主权项】:
一种处理太阳能电池器件的方法,所述方法包括:通过清洗模块从太阳能电池器件的边缘区域去除颗粒,所述太阳能电池器件的背面上被施加有恒定负载,其中所述清洗模块具有二或更多个辊型刷,所述辊型刷设置在旋转台的相对侧上,所述旋转台位于质量保证设备之前和/或之后,所述质量保证设备被配置成检测和校正太阳能电池器件中的缺陷;以及将太阳能电池器件传送到边缘消除设备中,在所述边缘消除设备中,使用电磁辐射能自太阳能电池器件的顶面去除材料。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
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