[发明专利]用于夹持基板的设备有效
| 申请号： | 201110225578.3 | 申请日： | 2011-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN102699842A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 潘钟亿 | 申请（专利权）人： | 三星泰科威株式会社 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 韩明星;刘奕晴 |
| 地址： | 韩国庆尚*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于夹持基板的设备，更具体地说，提供这样一种用于夹持基板的设备，该设备允许利用基于四连杆机构的引导装置使基板的顶部完全紧密地接触夹持盖。所述基板夹持设备包括：夹持板，通过执行上下往复运动来夹持或者松开基板；基于四连杆的引导装置，该引导装置在保持夹持板水平的同时使夹持板往复运动预定的位移。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 夹持 设备 | ||
【主权项】：
一种用于夹持基板的设备，所述设备包括：夹持板，通过执行上下往复运动来夹持或者松开基板；基于四连杆的引导装置，该引导装置在保持夹持板水平的同时使夹持板往复运动预定的位移。
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