[发明专利]高能量脉冲抑制方法

摘要

通过表征激光腔放电行为并利用该信息调节假脉冲时间周期来补偿能量误差，激光器(126)用激光脉冲(192)处理工件(120)，激光脉冲(192)是在随机的时间间隔以基本恒定的能量等级传送的。假脉冲(194)是被阻止到达工件的激光脉冲。提供恒定脉冲能量的第二种方式采用AOM(10)以改变传递到工件的激光能量的量。提供恒定脉冲能量的第三种方式需要将选定脉冲的脉冲周期(200)延长以便无论何时发出假脉冲时，允许有额外的激光腔放电时间。

主权项

一种向工件传送激光脉冲的方法，包括：触发激光器，以生成一组第一连续激光脉冲，每个第一连续激光脉冲被第一时间周期分隔，并具有第一能量等级，该组第一连续激光脉冲以最后的激光脉冲结束；触发所述激光器以生成第二和第三激光脉冲，所述第二和第三激光脉冲相继于该组第一连续激光脉冲的所述最后的激光脉冲，所述第三激光脉冲与该组第一连续激光脉冲的所述最后的激光脉冲分隔第二时间周期，所述第二时间周期大于所述第一时间周期，并且所述第二激光脉冲在一预定时间被触发，使得所述第三激光脉冲具有第二能量等级，该第二能量等级与所述第一能量等级基本相同；所述第二激光脉冲和所述最后的激光脉冲被小于所述第一时间周期的第三时间周期分隔，并且所述第三激光脉冲和所述第二激光脉冲被故意小于所述第一时间周期的第四时间周期分隔；阻止所述第二激光脉冲到达所述工件；和允许该组第一连续激光脉冲和所述第三激光脉冲传播到所述工件。