[发明专利]用于隔离视口的设备和方法无效
| 申请号： | 201110227923.7 | 申请日： | 2011-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN102330066A | 公开（公告）日： | 2012-01-25 |
| 发明（设计）人： | E·J·利特尔;M·J·帕沃尔 | 申请（专利权）人： | 初星太阳能公司 |
| 主分类号： | C23C14/52 | 分类号： | C23C14/52 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 柯广华;王洪斌 |
| 地址： | 美国科*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明名称为“用于隔离视口的设备和方法”，公开了测量具有可隔离的视口(402)的涂层工艺的工艺参数的方法、检修的方法以及设备。该设备包括视口(402)、为将视口(402)与工艺室(406)选择性隔离而放置的器件(404)、以及置于视口(402)和器件(404)之间的第二室(408)。该器件(404)包括第一位置，以将视口(402)与工艺室(406)选择性隔离并选择性保持工艺室(406)中预定的工艺压力，该器件(404)包括第二位置，以选择性允许从视口(402)对工艺室(406)的视线测量，以及当该器件(404)在第二位置中时，第二室(408)保持工艺室(406)中预定的工艺压力。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 隔离 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种具有可隔离的视口(402)的挡板设备(400)，所述挡板设备(400)包括：视口(402)；为将所述视口(402)与工艺室(406)选择性隔离而放置的器件；以及置于所述视口(402)和所述器件(404)之间的第二室(408)；其中所述器件(404)包括第一位置以将所述视口(402)与工艺室(406)选择性地隔离并选择性地保持所述工艺室(406)中预定的工艺压力；其中所述器件(404)包括第二位置以选择性地允许从所述视口(402)对所述工艺室(406)的视线测量；以及其中当所述器件(404)在第二位置中时，所述第二室保持所述工艺室(406)中的所述预定的工艺压力。
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