[发明专利]呈120°角三通道微电子机械微波功率传感器及制备方法有效

专利信息
申请号: 201110229397.8 申请日: 2011-08-11
公开(公告)号: CN102338825A 公开(公告)日: 2012-02-01
发明(设计)人: 廖小平;张志强 申请(专利权)人: 东南大学
主分类号: G01R21/02 分类号: G01R21/02;B81C1/00
代理公司: 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 代理人: 张惠忠
地址: 210096*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明的呈120º角三通道微电子机械微波功率传感器不但具有传统热电式微波功率传感器的优点,如低损耗、高灵敏度、好的线性度,而且具有实现三通道微波功率的测量、高的集成度以及与砷化镓单片微波集成工艺兼容的优点。该结构在砷化镓衬底上,有三个用于传输微波信号的CPW输入端,它们彼此对称放置且相互之间呈120º的角,在每个CPW的输出端并联连接两个终端匹配电阻,每个终端匹配电阻附近有一个热电偶,将这三对热电偶也成对称放置并串联连接形成热电堆,这三对热电偶相互之间也同样呈120º的角;金属散热片被热电堆的冷端环绕;MEMS衬底膜结构位于终端匹配电阻和热电堆的热端下方。
搜索关键词: 120 通道 微电子 机械 微波 功率 传感器 制备 方法
【主权项】:
一种呈120º角三通道微电子机械微波功率传感器,制作在砷化镓衬底(13)上,在其上设有三个CPW(4)、六个终端匹配电阻(5)、一个由六个热电偶(6)构成三对热电偶(6)而组成的热电堆、两个输出压焊块(10)、一个金属散热片(9)以及连接线(12),在衬底(13)下形成一个MEMS衬底膜结构(11),其特征在于该结构具有三个用于传输微波信号的CPW输入端(1)、(2)和(3),它们彼此对称放置且相互之间呈120º的角,在每个CPW的输出端并联连接两个终端匹配电阻(5),每个终端匹配电阻(5)附近有一个热电偶(6),将这三对热电偶(6)也成对称放置并串联连接形成热电堆,这三对热电偶(6)相互之间也同样呈120º的角;金属散热片(9)被热电堆的冷端环绕;MEMS衬底膜结构(11)位于终端匹配电阻(5)和热电堆的热端下方。
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