[发明专利]呈90°角四输入微电子机械微波功率传感器及制备方法有效
| 申请号： | 201110229449.1 | 申请日： | 2011-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN102411087A | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | 廖小平;张志强 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01R21/02 | 分类号： | G01R21/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 张惠忠 |
| 地址： | 210096*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明的呈90º角四输入微电子机械微波功率传感器，具有四个用于传输微波信号的CPW输入端，它们彼此对称放置且相互之间呈90º的角，在每个CPW的输出端连接两个终端匹配电阻，每个终端匹配电阻附近有一个热电偶，将这四对热电偶也成对称放置并串联连接形成热电堆，这四对热电偶相互之间也同样呈90º的角，从而实现了四输入微波功率的测量，它大大减小了芯片面积，提高了集成度；而且，本发明的四输入微电子机械微波功率传感器还具有低损耗、高灵敏度、好的线性度等传统热电式微波功率传感器的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 90 输入 微电子 机械 微波 功率 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种呈90º角四输入微电子机械微波功率传感器，其特征在于：该结构制作在砷化镓衬底（14）上，在砷化镓衬底（14）上有四个CPW（5），它们彼此对称放置且相互之间呈90º的角，在每个CPW（5）输出端连接两个终端匹配电阻（6），每个终端匹配电阻附近有一个热电偶（7），这八个热电偶（7）构成四对热电偶（7）也呈对称放置并串联连接形成热电堆，在这热电堆的两端有两个输出压焊块（11），热电堆的热端靠近终端匹配电阻（6）而热电堆的冷端靠近金属散热片（10）；在砷化镓衬底（14）背面有MEMS衬底膜结构（12），它位于终端匹配电阻（6）和热电堆的热端下方。
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