[发明专利]太阳能电池中多晶硅腐蚀液及多晶硅腐蚀工艺无效
| 申请号： | 201110230875.7 | 申请日： | 2011-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN102330156A | 公开（公告）日： | 2012-01-25 |
| 发明（设计）人： | 顾峰 | 申请（专利权）人： | 无锡尚品太阳能电力科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C23F1/24 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所 32104 | 代理人： | 殷红梅 |
| 地址： | 214181 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种太阳能电池中多晶硅腐蚀液，特征是，包括以下组份，其组份比例按重量份数计：氢氟酸6～7份、硝酸64～68份、去离子水26～28份。一种太阳能电池中多晶硅的腐蚀工艺，特征是，包括以下步骤：将去离子水注入到腐蚀槽中，将氢氟酸沿腐蚀槽壁缓缓的倒入腐蚀槽中，然后将硝酸沿腐蚀槽壁缓缓的倒入腐蚀槽中；开启腐蚀槽的冷却系统，使得腐蚀槽中的液体循环降温，循环时间为10～15分钟，直至腐蚀槽中液体的温度到达4～8℃，即得到腐蚀液；将多晶硅片放到腐蚀液中进行腐蚀，腐蚀时间为280～320s。本发明缩短了腐蚀时间，改善了多晶腐蚀效果，硅片绒面均匀，细密连续；表面干净一致性好，无黑线；电池片的转化效率和质量提高。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能电池 多晶 腐蚀 工艺 | ||
【主权项】：
一种太阳能电池中多晶硅腐蚀液，其特征是，包括以下组份，其组份比例按重量份数计：氢氟酸6～7份、硝酸64～68份、去离子水26～28份；将去离子水注入制绒槽中，加入氢氟酸、硝酸循环冷却后即为腐蚀液。
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