[发明专利]一种单晶硅棒生产用导流筒

摘要

本发明涉及一种单晶硅棒生产用导流筒，所述单晶硅棒生产用导流筒，包括导流筒体，所述导流筒体包括筒体顶端与筒体底端；筒体上端与筒体下端间包括导流腔体；所述筒体底端的中心区设有导流出口，所述导流出口与导流腔体相连通；筒体底端对应于导流出口的外圈设有固液界面保护部，所述固液界面保护部截面的宽度为39.17mm~43.17mm。本发明导流筒体的筒体顶端与筒体底端间形成导流腔体，筒体底端设有与导流腔体相连通的导流出口，导流出口的外圈形成固液界面保护部，通过扩大固液界面保护部的径向宽度，能够增加径向发散氩气的距离，提高了防止周围颗粒进入固液界面的能力，结构简单，能提高无位错单晶的成品率，降低加工成本，安全可靠。

主权项

一种单晶硅棒生产用导流筒，包括导流筒体（1），所述导流筒体（1）包括筒体顶端（8）与筒体底端（9）；筒体上端（8）与筒体下端（9）间包括导流腔体（5）；其特征是：所述筒体底端（9）的中心区设有导流出口（4），所述导流出口（4）与导流腔体（5）相连通；筒体底端（9）对应于导流出口（4）的外圈设有固液界面保护部（3），所述固液界面保护部（3）截面的宽度为39.17mm~43.17mm。