[发明专利]薄膜太阳能电池多级PECVD沉积设备

摘要

本发明涉及一种用于沉积薄膜太阳能电池的多级等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备，属于太阳能电池技术领域。解决PECVD沉积设备工艺气体利用率低、操作复杂等技术问题。一种薄膜太阳能电池多级PECVD沉积设备，包括安装在真空室内的沉积盒，该沉积盒是由多个沉积腔室串联构成的多级沉积腔体，该腔体的第一级沉积腔室与进气室连通，且腔体的腔壁上设有通气孔，相邻沉积腔室由混气室串联成一体，所述沉积腔室内还设有补气管路，装有沉积基片的电极板固定在沉积腔室内。本发明采用多级沉积腔体结构，各级沉积腔体由混气室有效连接，有效地提高了PECVD薄膜制备过程中对工艺气体的利用率。

主权项

一种薄膜太阳能电池多级PECVD沉积设备，包括安装在真空室（01）内的沉积盒（02），其特征在于所述沉积盒（02）是由多个沉积腔室串联构成的多级沉积腔体，该腔体的第一级沉积腔室（24）与进气室（25）连通，且腔体的腔壁上设有通气孔（20），相邻沉积腔室由混气室（23）串联成一体，所述沉积腔室内还设有补气管路（30），装有沉积基片（27）的电极板（26）固定在沉积腔室内。