[发明专利]检查方法和检查设备无效
| 申请号： | 201110235524.5 | 申请日： | 2011-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN102401882A | 公开（公告）日： | 2012-04-04 |
| 发明（设计）人： | 真贝信行;山崎洋 | 申请（专利权）人： | 索尼公司 |
| 主分类号： | G01R31/36 | 分类号： | G01R31/36;G01R27/02 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 王安武 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种检查方法和检查设备，该检查方法包括：测量检查对象的单元结构的阻抗，所述检查对象包括一个或多个串联连接的单元结构，所述单元结构各个均包括形成在衬底上的透明电极层、形成在透明电极层上的多孔半导体层、形成在多孔半导体层上的多孔绝缘层以及形成在多孔绝缘层上的对电极层；以及基于所测量的单元结构的阻抗判断检查对象的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种检查方法，包括：测量检查对象的单元结构的阻抗，所述检查对象包括一个或多个串联连接的所述单元结构，所述单元结构各个均包括形成在衬底上的透明电极层、形成在所述透明电极层上的多孔半导体层、形成在所述多孔半导体层上的多孔绝缘层以及形成在所述多孔绝缘层上的对电极层；以及基于所测量的所述单元结构的所述阻抗来判断所述检查对象的品质。
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