[发明专利]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201110235672.7 | 申请日： | 2011-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN102378092A | 公开（公告）日： | 2012-03-14 |
| 发明（设计）人： | 罗伯特·兰德 | 申请（专利权）人： | NXP股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王波波 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS麦克风，包括：支撑面(106)；支撑面(106)上的麦克风衬底(201，202)；在衬底上支撑的由麦克风振动膜(103)和间隔的背部电极(105)组成的组件。衬底在组件下面具有开口。支撑面(106)与衬底(201，202)之间的界面包括多个离散的间隔部分(201)。这种结构提供了对于在工艺期间可以增加的有差别的膨胀和收缩的某种回复力。支撑面可以是与衬底不同的材料，例如PCB层压片作为支撑面，而硅作为衬底。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【主权项】：
一种MEMS麦克风，包括：支撑面(106)；所述支撑面(106)上的麦克风衬底(201，202)；在所述衬底上支撑的由麦克风振动膜(103)和间隔的背部电极(105)组成的组件，其中所述衬底在所述组件下面具有开口，其中所述衬底(201，201)包括下部区，所述下部区被图案化以在支撑面(106)与衬底(201，202)之间的界面处限定多个离散的间隔部分(201)或者开口，其中所述图案化仅部分地延伸到所述衬底中。
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